厭氧高溫試驗箱主要技術特點

     厭氧高溫試驗箱用于半導體制造中硅片、砷化嫁、銀酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示實驗室等生產及科研部門也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

厭氧高溫試驗箱主要技術特點哪些功能？

   1.溫度范圍：（環境溫度＋20）℃～200℃（可按客戶要求做）

   2.升溫時間：環境溫度 → +200℃≤35min

   3.氮氣導入：降溫過程開 兩路閥，以保持正壓狀態路氮氣，各每支路上裝有控制電磁閥和調節流量計，升溫（排氧）過程開 兩 路閥，以保障能充分排氧。

   4.降溫時間：200℃～80℃時，約50分鐘

   5.通訊功能：S-485 接口， 具有本地和遠程通訊功能( 需配集中監控軟件、 RS-485/RS-232 轉換器，需占用 PC 機的COM 口和USB 口各一個)；最多可同時連接 16 臺設備，電纜累計長度最大 800m

安裝場地要求：

1.地面平整，通風良好

2.設備周圍無強烈振動

3.設備周圍無強電磁場影響

4.設備周圍無易燃、腐蝕性物質和粉塵

5.設備周圍留有適當的使用及維護空間，如下圖所示：A：不小于60cm B：不小于120cm C：不小于60cm D: 不小于120cm